Movable microstructures manufactured by the LIGA-process as basic elements for microsystems

Mohr, J.; Burbaum, C.; Bley, P.; Menz, W.; Wallrabe, U.

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seit 10.05.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1990
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170028817
HGF-Programm	16.04.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	529-37
Erscheinungsvermerk	Reichl, H. [Hrsg.] MICRO SYSTEM Technologies 90 : 1st Internat.Conf.on Micro, Electro, Opto, Mechanic Systems and Components, Berlin, September 10-13, 1990 Berlin [u.a.] : Springer, 1990