Linear driving device for micro-actuators

Kowanz, B.; Bacher, W.; Bley, P.; Ehrfeld, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1990
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170029152
HGF-Programm	16.02.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten	152-56
Erscheinungsvermerk	Micromechanics Europe 1990, Berlin, November 26-27, 1990 Technical Digest