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Flexible microstructures for fiber-chip-coupling

Rogner, A.; Ehrfeld, W.; Muenchmeyer, D.; Bley, P.; Burbaum, C.; Mohr, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1990
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170029153
HGF-Programm 16.04.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten 229-34
Erscheinungsvermerk Micromechanics Europe 1990, Berlin, November 26-27, 1990 Technical Digest
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