Flexible microstructures for fiber-chip-coupling

Rogner, A.; Ehrfeld, W.; Muenchmeyer, D.; Bley, P.; Burbaum, C.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1990
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170029153
HGF-Programm	16.04.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	229-34
Erscheinungsvermerk	Micromechanics Europe 1990, Berlin, November 26-27, 1990 Technical Digest