Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1990 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 170029602 |
HGF-Programm | 16.01.02 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 133-54 |
Erscheinungsvermerk | Maskentechnik fuer Mikroelektronik-Bausteine : Tagung, Muenchen, 8.November 1990 Duesseldorf : VDI-Verl., 1990. - (VDI-Berichte ; 870) |