Masken fuer die Roentgentiefenlithographie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170029602 |
| HGF-Programm | 16.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 133-54 |
| Erscheinungsvermerk | Maskentechnik fuer Mikroelektronik-Bausteine : Tagung, Muenchen, 8.November 1990 Duesseldorf : VDI-Verl., 1990. - (VDI-Berichte ; 870) |