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The LIGA technique - a novel concept for microstructures and the combination with Si-technologies by injection molding

Menz, W.; Bacher, W.; Harmening, M.; Michel, A.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170030269
HGF-Programm 16.02.02 (Vor POF, LK 01)
Seiten 69-73
Erscheinungsvermerk MEMS '91 - Micro Electro Mechanical Systems, Nara, J, January 30 - February 2, 1991 Proc. New York [u.a.] : IEEE 1991
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