The LIGA technique - a novel concept for microstructures and the combination with Si-technologies by injection molding
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170030269 |
| HGF-Programm | 16.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 69-73 |
| Erscheinungsvermerk | MEMS '91 - Micro Electro Mechanical Systems, Nara, J, January 30 - February 2, 1991 Proc. New York [u.a.] : IEEE 1991 |