| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170030276 |
| HGF-Programm | 16.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 303-13 |
| Erscheinungsvermerk | Cho, D. [Hrsg.] Micromechanical Sensors, Actuators, and Systems : Proc.of the Winter Annual Meeting of The ASME, Atlanta, Ga., December 1-6, 1991 New York : ASME, 1991 DSC-Vol.32 |