Einsatz des LIGA-Verfahrens zur Herstellung von mikromechanischen Sensoren und Aktuatoren sowie mikrooptischer Komponenten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170030277 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 25-39 |
| Erscheinungsvermerk | 1.Symp.Mikrosystemtechnik, Regensburg, 21.-22.Februar 1991 Proc. Regensburg, 1991 |