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Einfuehrung in die Verfahren der Mikrostrukturierung

Menz, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 170030293
HGF-Programm 16.01.02 (Vor POF, LK 01)
Seiten 15-24
Erscheinungsvermerk 1.Symp.Mikrosystemtechnik, Regensburg, 21.-22.Februar 1991 Proc. Regensburg, 1991
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