Application of the LIGA process in fabrication of three-dimensional mechanical microstructures

Bley, P.; Menz, W.; Bacher, W.; Feit, K.; Harmening, M.; Hein, H.; Mohr, J.; Schomburg, W. K.; Stark, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1992
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170030597
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Seiten	384-89
Erscheinungsvermerk	Proc.of the 1991 Internat.Micro Process Conf., Kanazawa, J, July 15-18, 1991 Tokyo : Publ.Office, Japanese Journal of Applied Physics, 1992 (JJAP series ; 5)