The LIGA-process for the fabrication of micromechanical and microoptical components

Bley, P.; Goettert, J.; Harmening, M.; Himmelhaus, M.; Menz, W.; Mohr, J.; Mueller, C.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1991
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170031059
HGF-Programm	16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Seiten	302-14
Erscheinungsvermerk	Krahn, R. [Hrsg.] MICRO SYSTEM Technologies 91 : 2.Internat.Fachkongress, Berlin, October 29 - November 1, 1991 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1991