KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

The LIGA-process for the fabrication of micromechanical and microoptical components

Bley, P.; Goettert, J.; Harmening, M.; Himmelhaus, M.; Menz, W.; Mohr, J.; Mueller, C.; Wallrabe, U.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170031059
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Seiten 302-14
Erscheinungsvermerk Krahn, R. [Hrsg.] MICRO SYSTEM Technologies 91 : 2.Internat.Fachkongress, Berlin, October 29 - November 1, 1991 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1991
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page