Parametric optical measurements of micromechanical structures with arbitrary plane surface geometries: the COSMOS-2D system
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Datenverarbeitung in der Technik (IDT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170031269 |
| HGF-Programm | 16.05.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 280-87 |
| Erscheinungsvermerk | Krahn, R. [Hrsg.] MICRO SYSTEM Technologies 91 : 2.Internat.Fachkongress, Berlin, October 29 - November 1, 1991 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1991 |