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The impact of extrinsic conductivity on the mm-wave dielectric loss in high resistivity silicon

Heidinger, R.; Kumlin, A.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170031553
HGF-Programm 03.04.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten 450-51
Erscheinungsvermerk Siegrist, M. R. [Hrsg.] 16th Internat.Conf.on Infrared and Millimeter Waves, Lausanne, August 26-30, 1991. Conference Digest Lausanne : Ecole Polytechnique 1991. - (Proc. SPIE ; 1576)
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