Theoretical and experimental results of an electrostatic micro motor with large gear ratio fabricated by the LIGA process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170031791 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 139-40 |
| Erscheinungsvermerk | MEMS '92 - 5th Internat.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, Travemuende, February 4-7, 1992 Proc. New York [u.a.] : IEEE 1992 |