KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Alternative Methoden der Siliziumbearbeitung: Plasmaloses Aetzen mit halogenhaltigen Gasen. Mikrostrukturierung mit Diamantwerkzeugen

Bier, W.; Guber, A.; Koehler, U.; Linder, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 170031798
HGF-Programm 41.04.01; LK 01
Seiten 735-40
Erscheinungsvermerk Geraetetechnik und Mikrosystemtechnik : Kongress, Chemnitz, 16.-18.Maerz 1992 Band 2 Duesseldorf : VDI-Verl., 1992. - (VDI-Berichte ; 960)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page