Alternative Methoden der Siliziumbearbeitung: Plasmaloses Aetzen mit halogenhaltigen Gasen. Mikrostrukturierung mit Diamantwerkzeugen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170031798 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 735-40 |
| Erscheinungsvermerk | Geraetetechnik und Mikrosystemtechnik : Kongress, Chemnitz, 16.-18.Maerz 1992 Band 2 Duesseldorf : VDI-Verl., 1992. - (VDI-Berichte ; 960) |