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Mikromembranen fuer beruehrungslose Messungen mit Ultraschall

Schomburg, W. K.; Walter, M.; Koehler, R.; Liebig, V.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 170031800
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Seiten 543-48
Erscheinungsvermerk Sensoren - Technologie und Anwendung : 6.Fachtagung, Bad Nauheim, 16.-18.Maerz 1992 Duesseldorf : VDI-Verl., 1992. - (VDI-Berichte ; 939)
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