Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1992 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 170031800 |
HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 543-48 |
Erscheinungsvermerk | Sensoren - Technologie und Anwendung : 6.Fachtagung, Bad Nauheim, 16.-18.Maerz 1992 Duesseldorf : VDI-Verl., 1992. - (VDI-Berichte ; 939) |