| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170031800 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 543-48 |
| Erscheinungsvermerk | Sensoren - Technologie und Anwendung : 6.Fachtagung, Bad Nauheim, 16.-18.Maerz 1992 Duesseldorf : VDI-Verl., 1992. - (VDI-Berichte ; 939) |