Molding of three-dimensional microstructures by the LIGA-process

Harmening, M.; Bacher, W.; Bley, P.; El-Kholi, A.; Kalb, H.; Kowanz, B.; Menz, W.; Michel, A.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1992
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170031802
HGF-Programm	41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Seiten	202-07
Erscheinungsvermerk	MEMS '92 - 5th Internat.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, Travemuende, February 4-7, 1992 Proc. New York [u.a.] : IEEE 1992