Techniken zur Entwicklung fluidischer Mikroaktorelemente

Schwarz, A.; Schmidt, B.; Bley, P.; Hein, H.; Menz, W.; Vollmer, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1992
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 170031803
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Seiten	153-70
Erscheinungsvermerk	Tagungsband 10.Aachener Fluidtechnisches Kolloquium, Aachen, 17.-19.Maerz 1992 Beitraege zum Fachgebiet Pneumatik Aachen : Verein zur Foerderung der Forschung und Anwendung der Hydraulik und Pneumatik, 1992