3.5μm thin valves in titanium membranes
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170032024 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 106-09 |
| Erscheinungsvermerk | Micromechanics Europe 1992 : 3rd Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Leuven, B, June 1-2, 1992 Workshop Digest |