| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170032093 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 297-307 |
| Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] MICRO SYSTEM Technologies 92 : 3rd Internat.Conf.on Micro, Electro, Opto, Mechanic Systems and Components, Berlin, October 21-23, 1992 Berlin [u.a.] : vde-verl., 1992 |