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Coupling elements for multimode fibers by the LIGA process

Goettert, J.; Mohr, J.; Mueller, C.; Sauter, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170032093
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Seiten 297-307
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] MICRO SYSTEM Technologies 92 : 3rd Internat.Conf.on Micro, Electro, Opto, Mechanic Systems and Components, Berlin, October 21-23, 1992 Berlin [u.a.] : vde-verl., 1992
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