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Integrated measuring system for the detection of the revolutions of LIGA microturbines in view of a volumetric flow sensor

Himmelhaus, M.; Bley, P.; Mohr, J.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170032203
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Seiten 178-82
Erscheinungsvermerk Micromechanics Europe 1992 : 3rd Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Leuven, B, June 1-2, 1992 Workshop Digest
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