Integrated measuring system for the detection of the revolutions of LIGA microturbines in view of a volumetric flow sensor

Himmelhaus, M.; Bley, P.; Mohr, J.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1992
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170032203
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Seiten	178-82
Erscheinungsvermerk	Micromechanics Europe 1992 : 3rd Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Leuven, B, June 1-2, 1992 Workshop Digest