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Examination of long-term stability of metallic LIGA-microstructures by electromagnetic activation

Mohr, J.; Strohrmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170032204
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Seiten 174-77
Erscheinungsvermerk Micromechanics Europe 1992 : 3rd Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Leuven, B, June 1-2, 1992 Workshop Digest
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