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The LIGA-technique - what are the new opportunities?

Mohr, J.; Rogner, A.; Eicher, J.; Peters, R.P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170032205
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Seiten 118-40
Erscheinungsvermerk Micromechanics Europe 1992 : 3rd Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Leuven, B, June 1-2, 1992 Workshop Digest
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