| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170033414 |
| HGF-Programm | 41.01.06 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 229-36 |
| Erscheinungsvermerk | 38.Internat.Wissenschaftliches Kolloquium 'Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik', Technische Hochschule, Ilmenau, 20.-23.September 1993 Tagungsbd. Ilmenau : Technische Universitaet, 1993 |