Design and test of electrostatic micromotors made by the LIGA-process

Wallrabe, U.; Bley, P.; Krevet, B.; Menz, W.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1993
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170033443
HGF-Programm	41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Seiten	89-97
Erscheinungsvermerk	Holler, E. [Hrsg.] 1st IARP Workshop on Micro Robotics and Systems, Karlsruhe, June 15-16, 1993 Proc. Karlsruhe : KfK, 1993