Bistable fluidic elements in LIGA-technique for flow control in fluidic microatuators
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170033454 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 7th Internat.Conf.on Solid State Sensors and Actuators, Transducers '93, Yokohama, J, June 7-10, 1993 Digest of Technical Papers S.116-19 Yokohama : Inst.of Electrical Engineers of Japan, 1993 Sensors and Actuators A, 43(1994) S.330-34 |