Micro optical switching by electrostatic linear actuators with large displacements
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170033455 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 120-23 |
| Erscheinungsvermerk | 7th Internat.Conf.on Solid State Sensors and Actuators, Transducers '93, Yokohama, J, June 7-10, 1993 Digest of Technical Papers Yokohama : Inst.of Electrical Engineers of Japan, 1993 |