FTIR spectroscopy as an analytical tool for etching investigations of silicon
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170033637 |
| HGF-Programm | 52.01.13 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 368-69 |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the 9th Internat.Conf.on Fourier Transform Spectroscopy, Calgary, CDN, August 23-27, 1993 Bellingham, Wash. : SPIE, 1994 (Proceedings / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers ; 2089) |