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FTIR spectroscopy as an analytical tool for etching investigations of silicon

Guber, A.; Köhler, U.; Bier, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170033637
HGF-Programm 52.01.13 (Vor POF, LK 01)
Seiten 368-69
Erscheinungsvermerk Proc.of the 9th Internat.Conf.on Fourier Transform Spectroscopy, Calgary, CDN, August 23-27, 1993 Bellingham, Wash. : SPIE, 1994 (Proceedings / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers ; 2089)
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