Ultrasonic contactless measurement with micromembranes

Liebig, V.; Koehler, B.; Schomburg, W. K.; Sarkar, M. R.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170033647
HGF-Programm	41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	IEEE Instrumentation and Measurement Technology Conf., Orange County, Calif., May 18-20, 1993 Tagungsband