The LIGA-technique and its potential for industrial application
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170033682 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 106-13 |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the 1st Internat.Micromechanism Symp., Tokyo, J, June 1-3, 1993 Tokyo : Inst.of Technology, 1993 |