LIGA-micro-structures on top of micro-machined silicon wafers used to fabricate a micro-optical switch
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170034019 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 101-04 |
| Erscheinungsvermerk | Micromechanics Europe, Neuchatel, CH, September 7-8, 1993 Workshop Digest Neuchatel, CH : FSRM, 1993 |