KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Schadstoffreduzierung bei der Gasphasenreinigung von Plasma-CVD-Anlagen

Guber, A.; Koehler, U.; Bier, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 170034159
HGF-Programm 41.01.07 (Vor POF, LK 01)
Seiten 295-303
Erscheinungsvermerk Materialien in ihrer Umwelt : 1.Internat.Kongress, Lindau, 22.-24.Juni 1993 Duesseldorf : VDI-Verl., 1993. - (VDI-Berichte ; 1060)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page