Positioniertes Verkleben von LIGA-Mikrostrukturen am Beispiel einer Mikropumpe
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170034227 |
| HGF-Programm | 41.04.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 327-30 |
| Erscheinungsvermerk | Mikrosysteme fuer Verfahrens- und Fertigungstechnik : 3.Symp.Mikrosystemtechnik, Regensburg, 17.-18.Februar 1993 Regensburg, 1993 |