The LIGA-process - from microcomponents to microsystems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170034228 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 88-100 |
| Erscheinungsvermerk | Unification of Analytical, Computational, and Experimental Solution Methodologies in Micromechanics and Microsystems, Proc.of the Internat.Invitational UACEM Symp., Danvers, Mass., August 18-20, 1993 Worcester, Mass. : Worcester Polytechnic Inst., 1993 |