Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 170034231 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 31-37 |
Erscheinungsvermerk | Qualitaetssicherung in der Reinraumtechnik : Tagung, Stuttgart, 27.-28.September 1993 Duesseldorf : VDI-Verl., 1994 (VDI-Berichte ; 1095) |