Entwicklung von Mikrosystemen fuer die Medizin mit dem LIGA-Verfahren

Schomburg, W. K.; Bacher, W.; Fahrenberg, J.; Hein, H.; Menz, W.; Mohr, J.; Mueller, C.; Rapp, R.; Vollmer, J.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 170034231
HGF-Programm	41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Seiten	31-37
Erscheinungsvermerk	Qualitaetssicherung in der Reinraumtechnik : Tagung, Stuttgart, 27.-28.September 1993 Duesseldorf : VDI-Verl., 1994 (VDI-Berichte ; 1095)