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Entwicklung von Mikrosystemen fuer die Medizin mit dem LIGA-Verfahren

Schomburg, W.K.; Bacher, W.; Fahrenberg, J.; Hein, H.; Menz, W.; Mohr, J.; Mueller, C.; Rapp, R.; Vollmer, J.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 170034231
HGF-Programm 41.01.05; LK 01
Seiten 31-37
Erscheinungsvermerk Qualitaetssicherung in der Reinraumtechnik : Tagung, Stuttgart, 27.-28.September 1993 Duesseldorf : VDI-Verl., 1994 (VDI-Berichte ; 1095)
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