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Ionized cluster beam source characteristics for high-intensity cluster deposition or erosion

Gspann, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170034944
HGF-Programm 52.01.02 (Vor POF, LK 01)
Seiten 107-10
Erscheinungsvermerk Yamada, I. [Hrsg.] Advanced Materials '93 : 3rd Internat.Conf.on Laser and Ion Beam Modification of Materials, Tokyo, J, August 31 - September 4, 1993 Elsevier Sci.B.V., 1994 (Transactions of the Materials Research Society of Japan ; 17)
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