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Electrostatically driven linear stepping motor in LIGA-technique

Kalb, H.; Kowanz, B.; Bacher, W.; Mohr, J.; Ruprecht, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170035112
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten 83-85
Erscheinungsvermerk Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 94 : 4th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 15-17, 1994 Conf. Proc. Bremen : AXON Technologie Consult GmbH, 1994
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