Characterization of NiTi shape memory microdevices produced by microstructuring of etched sheets of sputter deposited films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170035114 |
| HGF-Programm | 41.02.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 317-20 |
| Erscheinungsvermerk | Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 94 : 4th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 15-17, 1994 Conf. Proc. Bremen : AXON Technologie Consult GmbH, 1994 |