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Microminiature fluidic beam elements as electro-pneumatic converters

Vollmer, J.; Hein, H.; Köhler, U.; Menz, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170035117
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Seiten 38-41
Erscheinungsvermerk Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 94 : 4th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 15-17, 1994 Conf. Proc. Bremen : AXON Technologie Consult GmbH, 1994
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