Smart acceleration sensor systems based on LIGA micromechanics
Strohrmann, M.; Eberle, F.; Fromhein, O.; Keller, W.; Krömer, O.; Kühner, T.; Lindemann, K.; Mohr, J.; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170035121 |
| HGF-Programm | 41.06.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 753-62 |
| Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 94, 4th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, October 19-21, 1994 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1994 |