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Smart acceleration sensor systems based on LIGA micromechanics

Strohrmann, M.; Eberle, F.; Fromhein, O.; Keller, W.; Krömer, O.; Kühner, T.; Lindemann, K.; Mohr, J.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170035121
HGF-Programm 41.06.02; LK 01
Seiten 753-62
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 94, 4th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, October 19-21, 1994 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1994
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