Molding of LIGA microstructures from polyvinylidene fluoride

Kalb, H.; Kowanz, B.; Bacher, W.; Biedermann, H.; Ruprecht, R.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170035122
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Seiten	1166-68
Erscheinungsvermerk	Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 94, 4th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, October 19-21, 1994 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1994