Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170035370 |
HGF-Programm | 41.06.02 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 18-24 |
Erscheinungsvermerk | Micro Electro Mechanical Systems - an Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robotic Systems : Proc. of a Workshop, Oiso, J, January 25-28, 1994 New York [u.a.] : IEEE, 1994 |