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Micropump manufactured by thermoplastic molding

Büstgens, B.; Bacher, W.; Menz, W.; Schomburg, W. K.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170035370
HGF-Programm 41.06.02 (Vor POF, LK 01)
Seiten 18-24
Erscheinungsvermerk Micro Electro Mechanical Systems - an Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robotic Systems : Proc. of a Workshop, Oiso, J, January 25-28, 1994 New York [u.a.] : IEEE, 1994
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