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The LIGA-technique and its potential for microsystems

Menz, W.; Bacher, W.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170035383
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten 1466-71
Erscheinungsvermerk Proc.of the 20th Internat.Conf.on Industrial Electronics, Control and Instrumentation (IECON '94), Bologna, I, September 5-9, 1994 Vol. 3 of 3
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