Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170035383 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 1466-71 |
Erscheinungsvermerk | Proc.of the 20th Internat.Conf.on Industrial Electronics, Control and Instrumentation (IECON '94), Bologna, I, September 5-9, 1994 Vol. 3 of 3 |