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The LIGA-process - a microfabrication technology with applications in medical devices

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170035728
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Seiten 181-207
Erscheinungsvermerk Burattini, E. [Hrsg.] Biomedical Applications of Synchrotron Radiation : Varenna, I, July 12-22, 1994 = Applicazioni Biomediche delle Radiazioni de Sincrotrone Amsterdam [u.a.] : IOS Pr., 1996 (Proc.of the Internat.School of Physics Enrico Fermi = Rendiconti della Scuola Internazionale di Fisica Enrico Fermi ; 128)
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