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Ein optisches Mikroanalysesystem als Demonstrator der Mikrosystemtechnik

Mohr, J.; Menz, W.; Müller, C.; Reichert, J.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 170035731
HGF-Programm 41.06.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Micro-Engineering 94 : Kongreß und Ausstellung für Mikrosysteme und Präzisionstechnik, Stuttgart, 17.-19.Mai 1994 Stuttgart : Messe Suttgart, 1994
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