Ein optisches Mikroanalysesystem als Demonstrator der Mikrosystemtechnik

Mohr, J.; Menz, W.; Müller, C.; Reichert, J.; Schomburg, W. K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 170035731
HGF-Programm	41.06.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Micro-Engineering 94 : Kongreß und Ausstellung für Mikrosysteme und Präzisionstechnik, Stuttgart, 17.-19.Mai 1994 Stuttgart : Messe Suttgart, 1994