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Knowledge based design and manufacturing for LIGA-microstructures

Scherer, K.P.; Buchberger, P.; Eggert, H.; Stiller, P.; Wieland, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170036067
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Seiten 1172-74
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 94, 4th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, October 19-21, 1994 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1994
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