Knowledge based design and manufacturing for LIGA-microstructures

Scherer, K. P.; Buchberger, P.; Eggert, H.; Stiller, P.; Wieland, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170036067
HGF-Programm	41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	1172-74
Erscheinungsvermerk	Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 94, 4th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, October 19-21, 1994 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1994