Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Radiochemie (IRCH) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170036074 |
HGF-Programm | 41.05.02 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 1181-83 |
Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 94, 4th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, October 19-21, 1994 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1994 |