Mikrosystemtechnik für Produkte mit Zukunft
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170036150 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 284-309 |
| Erscheinungsvermerk | FTK ' 94 - Fertigungstechnisches Kolloquium : Schriftliche Fassung der Vorträge, Stuttgart, 8.-9.November 1994 Berlin [u.a.] : Springer Verl., 1994 |