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Mikrosystemtechnik für Produkte mit Zukunft

Menz, W.; Bacher, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 170036150
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Seiten 284-309
Erscheinungsvermerk FTK ' 94 - Fertigungstechnisches Kolloquium : Schriftliche Fassung der Vorträge, Stuttgart, 8.-9.November 1994 Berlin [u.a.] : Springer Verl., 1994
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