| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170036152 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Seminar on Handling and Assembly of Microparts, Wien, A, November 14, 1994 Proc.and Lectures Wien : Erwin Schrödinger Soc.f. Micro-Science, 1994 |