Assembly for Micromechanics and LIGA

Schomburg, W. K.; Maas, D.; Bacher, W.; Büstgens, B.; Fahrenberg, J.; Menz, W.; Seidel, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170036153
HGF-Programm	41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Micro Mechanics Europe, Pisa, I, September 5-6, 1994 Conf.Digest S.17-27 Journal of Micromechanics and Microengineering, 5(1995) S.57-63