Beispiele für Anwendungen der Mikrosystemtechnik in der Optik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170036243 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 55-64 |
| Erscheinungsvermerk | IHK-Technologiekongreß Sensortechnik und Mikrosystemtechnik, Villingen-Schwenningen, 6.Oktober 1994 Industrie- und Handelskammer Schwarzwald-Baar-Heuberg, 1994 (Technologiekongress-Vorträge: Sensortechnik und Mikrosystemtechnik ; 9) |